GRISH CMP抛光液 研磨液 蓝宝石

GRISH CMP抛光液是以硅溶胶为原料，针对不同研磨材料的特性进行*特配方设计，保证抛光过程中PH值基本保持不变，从而保证抛光速率的稳定及节约抛光时间。
产品规格：
型号	             SO-80-PF	SO-100-PF	SO-80-FS
粒径 (nm)	      70~90	90~110	        70~90
外观	              Cream color or translucent liquid
比重	              1.10-1.30
组成	             成分	含量 (w%)
                     SiO2	15~45
 
产品特点：
1. 粒径均一（粒径分布窄，形貌呈正球状）；
2. 抛光速率快（特殊配方，PH值稳定不变）；
3. 高平坦化（表面质量Ra < 0.2nm, TTV < 3 u）；;
4. 循环次数较多；
5. 可低温抛光 （35℃以下）。

应用范围：
广泛用于多种材料纳米级的化学机械抛光。如，蓝宝石材料、硅片、不锈钢、铝镁合金、化合物晶体等的抛光加工。


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